Hirata 自动面板传输机 Panel EFEM
半导体Panel设备自动化整合服务的提供，可搭配不同Panel尺寸的设备前端自动化模块
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产品特色
- Minimum Footprint: Enables the flexible arrangement of robots, load ports and hands.
- High Throughput: Smooth and High Speed wafer handling with AC servo system and control.
- Meets Customer's Requirement with Various Options
- Strongly-built slider: Robust rack & pinion ensures quiet driving and lubrication-free.
产品信息
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原厂名称
平田 -
制程名称
Ceramic e-WLB(Fan out)/FOPLP/COPOS/PLP -
英文名称
Panel EFEM -
产品细目
自动面板传输机
